第385章 光刻机交付(3/3)

有光刻机整机集成经验的国家队大本营。在保密级别极高的总装车间里，两台犹如金属巨兽般的65纳米干式DUV光刻机，正静静地矗立在超净台上。

它们那庞大而精密的机械结构，散发着工业制造巅峰的冷冽光泽。这就是许晨在一年前，初光测试成功时当场拍板预定的两台首批量产机。

“许总，设备已经完成了全部的下线测试和量产标定，随时可以打包发运。”

上微电子的总工贺建国穿着白大褂，满脸自豪地指着这两台设备。他那布满血丝的眼睛里，透着难以掩饰的激动。

这一年多来，上微电子的团队没日没夜地进行系统整合、参数调优。有了天宇三大件（长天光学物镜、天卓精密工件台、天虹激光光源）的强力支撑，他们终于把这块最难啃的硬骨头给砸碎了。

许晨看着眼前的设备，心里同样松了一口气。

只要这两台设备运回郑州，入驻轩辕半导体二期厂房，再经过几个月的工艺参数调试和良率爬坡，天宇就能彻底摆脱对外部晶圆代工厂的依赖，真正实现芯片制造的自主可控。

“辛苦贺总工了。”许晨走上前，仔细端详着光刻机的外壳，“接下来，浸没式DUV的研发进度怎么样？”

提到这个，贺建国精神一振。

……