第两百一十一章 来自林厂长的指点！(3/5)

已经走到了车间里侧靠近刻蚀设备的位置。
  眼前，一台深灰色的反应离子刻蚀机占据了约三米乘两米的地面，设备外壳涂着工业标准的浅灰漆。
  正面面板上排列着一排压力表和气体流量指示计，管路易清洗管路从设备顶部伸出来连接到墙上的气瓶柜。
  钱学明正弯腰蹲在设备侧面，一手拿着一只万用表，另一手捏着一份折叠过的设备手册，眉头皱着。
  他旁边站着一个穿着浅蓝色工作服，戴着安全帽的小日子工程师，手里也拿着一张参数表，正用手指敲打着纸面，嘴里说着蹩脚的中文。
  “钱，我们的设备不可能出问题，出厂已经检查过，一定是你们的问题。”
  钱学明正抬起头准备争论，看到了旁边的林默，连忙把话收回。
  “厂长，您来了。”
  “怎么了，出了什么问题？”
  “这边正在处理一个刻蚀机的调校问题，理论上应该没问题，但实测的均匀性数据跑偏了差不多百分之八。”
  “我认为是他们出厂设备的问题，但是他们不承认。”
  林默走过去，站在设备侧面，看了一眼面板上正在显示的射频功率值和气体流量参数，又低头扫了一下钱学明手里的设备手册上那一页的参数表。
  小日子工程师站在一旁，用略微生硬的中文说道：
  “林先生，我们设备出厂前已经过全部检测，刻蚀均匀性在规格范围内，贵方的测试数据可能有误差，建议检查测试方法。”
  钱学明听了眉头又紧了一层，但他没有当场反驳，只是朝林默的方向看了过来。
  林默没有急着接话。
  他俯下身仔细看了看设备上连接的几根气体管路，又伸手感受了一下射频电源附近的工作温度。
  然后在脑海里快速复盘了一遍这种平行板结构反应离子刻蚀机的工作原理。
  这类设备的刻蚀均匀性受两个关键因素影响最大。
  一是极板间距的机械平行度。
  二是射频耦合腔内的电场分布对称性。
  出厂数据通常在标准条件下测得，但设备经过长途海运和安装过程中的水平调整，极板之间的平行度极有可能发生微小偏移。
  “钱工，可以尝试先把下电极版的水平度再调一”
  林默直起腰来，指了指设备上腔体侧面的几个调节螺栓。
  “安装过程中有搬运震动，电极板的平行度可能已经偏离了出厂时的状态。”
  “用薄片塞尺在电