第1118章 光子芯片(2/5)

三十天后。

他把排期表合上，放进抽屉，锁好。然后拿起桌上的电话，拨了一个内线号码。

“林锐，通知周明远、陈默、钱老，后天下午两点，产业岛现场办公。议题只有一个——试产前的最后排查。所有环节，一个不许漏。”

林锐在那头应了一声，挂了。

苏哲靠在椅子上，右手伸进裤兜，摸到了那把刮刀冰凉的刀柄。

桌上的台历翻到了十一月二十九日。

倒计时三十天的格子上，他用红笔画了一个圈。

十一月二十九日，量产线联调完成。

产业岛三号厂房的洁净室内，空气净化系统嗡嗡运转，所有人穿着防尘服，只露出一双眼睛。

周明远站在中控台前，背后的巨屏上显示着十七台核心设备的运行状态——全部绿灯，全部切换到了盘古控制系统。

“从今天起，倒计时三十天。”

周明远的嗓子已经哑了三天，开口的时候声音发劈。他把手里那杯凉透的茶搁在操作台边缘，扫了一圈面前的工程师和技术员。

“良率低于百分之六十，这条线就是废铁。你们身上穿的防尘服、脚底下踩的超净地板、头顶上的层流罩，加在一起，一百个亿。”

没人吭声。

“干活。”

联调后的第三天，第一轮试产启动。

五百片晶圆从前道工序进入光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂、退火，一步一步往下走。每一道工序的参数都是团队反复讨论了两个星期的结果，每一个数值都有理论支撑。

周明远守在检测室门口，三十六个小时没回宿舍。

第四天凌晨两点，最后一片晶圆走完全部制程，送进检测室。

检测程序跑了四个小时。

早上六点零七分，报告出来了。

小韩端着打印机吐出来的A4纸跑过来的时候，脚下打了个趔趄，差点摔进周明远怀里。

周明远一把抢过报告。

五百片晶圆。合格品一百五十片。

良率百分之三十。

周明远盯着那个数字，嘴唇动了两下，什么都没说出来。

他把报告折起来塞进口袋，转身走进工艺分析室，把门关上了。

接下来四十八个小时，周明远带着团队从头到尾排查了每一道工序。

光刻对准精度：达标。

刻蚀均匀性：达标。

薄膜厚度控制：达标。

掺杂浓度分布：达标。

退火温度曲线：达标。

单看每一项，全部在规格范围之内。

但合在一起，良率只有百分之三十。

问题不在任