第1012章 3亿美币一台?阿斯麦重新上市?青春永驻的诱惑!(4/5)
上周全部下线,随时可以投入使用。
其中三台做好了出厂检测,剩下三台正在进行最后的光学系统微调,预计本周五之前也能全部就绪。」
梁劲松语气沉稳,条理清晰地答道。
新品发布会定在九月五日,也就是下周二。
场地、媒体邀请、客户名单均已确认完毕,连新闻通稿的初稿都已完成,前期筹备工作基本就绪也是很正常的事。
陈延森微微颔首,示意梁劲松继续汇报。
梁劲松用雷射笔圈住架构图左侧的模块,开始介绍核心参数:「A3X搭载的是第四代锡靶等离子体光源,输出功率达到800瓦,是A220光源功率的三倍以上。
量产机实测数据比工程样机还要稳定,连续运行九十六小时,功率波动控制在正负零点二五个百分点以内。」
800瓦,稳定运行九十六小时,波动不超过千分之二点五。
这已经不是领先一代的问题了!
等破晓A3X光刻机的核心参数公布后,欧美地区的光刻机研发机构,怕是当场就会放弃追赶的想法。
梁劲松继续往下说,雷射笔移到了架构图的投影物镜模组区域:「数值孔径0.55,这是A3X最核心的技术指标。
采用了8X变形投影光学系统,物镜组中引入了非球面加自由曲面混合透镜阵列,一共十七片光学元件,其中六片是自由曲面镜,面型精度做到了30皮米RMS以下。」
一个皮米是一万亿分之一米。
这意味著,十七片镜片中每一片的表面起伏,都不超过大约三分之一个原子的直径。
梁劲松翻到新的一页PPT,上面是一张柱状图,横轴是时间,纵轴是每小时晶圆处理量。
「A3X的量产吞吐量是每小时380片12英寸晶圆,这个数字是六台量产机的平均值,最高的一台跑到了每小时411片。」
A3X的产能,相比A220足足提升了近一倍。
而它更强大的优势在于,单次曝光即可支持1纳米晶片的生产。
「老板,售价需要您来拍板。」
一口气介绍完A3X的全部参数后,梁劲松笑著提议道。
「破晓A220卖8000万美币,那A3X至少也要翻一倍,加上工艺优势,定2.4亿美币吧。
「」
陈延森慢条斯理地说道。
当然,2.4亿美币仅仅是裸机价格,厂房EUV专用改造、电力和冷却系统、真空与防污染系统、安装调试和维保合同所需的费用还没算